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描述
EL级:优于美国SEMI C1、C2标准,控制1μm颗粒,控制十多个金属元素,单项金属元素控制在100ppb: 
SD-I级:等同CMOS级,控制0.5μm颗粒,控制三十多个 金属元素,单位项金属元素控制在10~100ppb以下; 
SD-II级:等同于行业中UP级,亦等同于美国SEMI C7标准,控制0.5、0.3μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在10ppb以下; 
SD-III级:等同于行业中UPS级,亦等同于美国SEMI C8标准,控制0.3μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在1ppb以下; 
SD-IV级:等同于行业中UPSS级,控制0.2μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在0.1ppb以下。 
*详细规格及参照欢迎致电我司。